Kemisk ångdeponering, 8.0 hp

Chemical Vapor Deposition, 8.0 credits

6FIFM10

Utbildningsnivå

Forskarutbildning

Beskrivning

Anmälan görs via länken Anmälan till kursen/Registration for course 6FIFM10 – Fyll i formulär och den öppnar 2026-07-01. Sista anmälningsdag är 2026-11-01.

Kursutvärderingen fylls i via länken Course evaluation form - 6FIFM10, autumn 2026 – Fyll i formulär när kursen är avslutad.

Kontaktinformation

Behörighetskrav

Grundläggande behörighet till kurser på forskarutbildningsnivå har den som har

  • avlagt en examen på avancerad nivå,
  • fullgjort kursfordringar om minst 240 högskolepoäng (hp), varav minst 60 hp på avancerad nivå, eller
  • på något annat sätt förvärvat motsvarande kunskaper

Särskild information

Den här kursen är avsedd för doktorander (och andra intresserade, såsom masterstudenter och post docs) som på något sätt arbetar med någon sorts tunna filmer deponerade av Chemical Vapor Deposition (CVD) eller bara vill vidga sin syn på tunnfilm deposition och materialvetenskap

Lärandemål

Efter avslutad kurs förväntas studenten kunna:

  • Kritiskt reflektera kring komplexiteten i CVD-processer
  • Beskriva vilken CVD-teknik som är mest lämpad för en given kombination av tunnfilm och substrat
  • Diskutera för och nackdelar med olika CVD-tekniker samt kunna kontrastera CVD-tekniker mot andra deponeringstekniker för tunna filmer

Kursinnehåll

Kursen täcker alla de viktiga CVD-teknikerna som används vetenskapligt och teknologiskt idag:

  • Termisk CVD
  • Foto CVD
  • Plasma CVD
  • Metalorganisk CVD (MOCVD)
  • CVD vid låga och höga tryck
  • Atomlagerdeponering (ALD)
  • Kemin i CVD-processer, alltså yt- och gasfas-kemi
  • Design och syntes av källmolekyler för CVD
  • Fundamentala aspekter av CVD-reaktorer
  • Modellering av CVD-processer

Undervisnings- och arbetsformer

Kursen ges som en serie föreläsningar, se nedan, där aktivt deltagande förväntas.

Examination

Kursen examineras med kontinuerlig examination:

  • Före varje föreläsning (inclusive den första) läser du texterna som ska läsas innan. Varje föreläsning börjar med ett quiz kring texterna som skulle läsas.
  • Efter varje föreläsning (inclusive den sista) lämnas hemuppgifter ut som ska lämnas in senast nästa föreläsning, eller en vecka efter sista föreläsningen.
  • En hemtenta där du får använda kunskaperna från kursen för att diskutera kring ett par CVD-relaterade problem.

Beroende på hur bra du lyckas på den kontinuerliga examinationen (quiz och hemuppgifter) kommer du att ha klarat ett antal uppgifter på hemtentan (du behöver alltså inte göra hela hemtentan om du klarat den kontinuerliga examinationen). Mer detaljer ges I samband med hemtentan.

Inlämnade lösningar på hemtentan granskas kollegialt och diskuteras i ett avslutande seminarium med obligatorisk närvaro.

Betygsskala

Tvågradig skala

Kurslitteratur

Allt material delas i en mapp på OneDrive.

Övrig information

Planering och genomförande av kursen skall utgå från kursplanens formuleringar. Kursvärdering samt analys och förslag som rör generell utveckling och förbättring av kursen återkopplas till Forsknings- och forskarutbildningsnämnden av kursansvarig lärare.